鈦泵，就是在設備制造選材時，利用鈦及鈦合金所具有的耐腐蝕、比重小、強度高、高低溫綜合機械性能好的特點，在過流部件、葉輪以及填料綜合密封等節(jié)點使用鈦或鈦合金制造?，F(xiàn)在就來介紹下鈦泵的性能及除氣機理。
鈦泵
一、鈦泵的性能

1.極限壓強：10-8帕。

2.啟動壓強：10-2帕。

3.抽速：鈦泵的抽速與陽極電壓和磁場強度有關，磁場強時抽速也大，對應最佳抽速的陽極電壓也高。常用鈦泵的抽速有25升/秒、5升/秒。對于需要大抽速的場合，可用基本結構單元并聯(lián)的方式使抽速達到50升/秒、100升/秒等。

4.鈦泵壽命：

a、陰極耗盡壽命，陰極鈦板因濺射穿通而使泵無法使用。

b、陽極剝落壽命，陽極內(nèi)沉積鈦膜的厚度太大時會產(chǎn)生剝落，導致泵內(nèi)壓強的不規(guī)則強烈變化，使泵無法使用。

c、陽極吸飽壽命，陽極上吸附和溶解了大量的氦氣、氫氣，當達到飽和狀態(tài)時泵不能再吸附氣體。在正常使用情況下，濺射離子泵的壽命可達幾萬小時。

二、鈦泵除氣機理

1.對活性氣體的抽除對N2、O2、CO和CO2等氣體的排除主要靠淀積于陽極筒內(nèi)壁上的鈦膜的化學吸附。

2.對氫氣的抽除對氫氣的抽除有化學吸附，也有擴散、吸收、溶解作用。

3.對惰性氣體的抽除對惰性氣體的排除，主要靠離子“掩埋”，被電離的惰性氣體的離子轟擊陰極時，

有以下三種情況：

a、離子直接打入陰極內(nèi)，或打入陰極邊緣對面的陽極板上的鈦淀積層內(nèi);

b、斜射的離子切入陰極表面，離子和鈦一起被掀掉而沉積在陰極板的周圍或其它地方;

c、離子沒有打入板內(nèi)，但是從陰極得到電子而復合為中性原子，然后又反射到陽極內(nèi)表面的鈦膜中。